廢氣主要為半導(dǎo)體行業(yè)生產(chǎn)中光刻、顯影、刻蝕及擴(kuò)散等工藝產(chǎn)生的有機(jī)揮發(fā)污染物，常見(jiàn)物質(zhì)主要包括：異丁醇、醚類、酯類等。

耦合催化技術(shù)是運(yùn)用高能紫外線照射核心光催化劑，產(chǎn)生羥基自由基、超氧自由基等活性物質(zhì)，因而可以裂解惡臭氣體物質(zhì)，例如：苯、甲苯、二甲苯、酯類、氨、三甲胺、硫化氫、甲硫醇、甲硫氰、甲硫醚、二甲二硫、二硫化碳、苯乙烯等。最終使惡臭氣體物質(zhì)裂解成易去除的小分子中間產(chǎn)物或者無(wú)害的礦化產(chǎn)物（二氧化碳和水等），整個(gè)技術(shù)具有清潔高效、設(shè)備簡(jiǎn)單、運(yùn)行成本低的優(yōu)點(diǎn)。

耦合催化技術(shù)中高性能催化劑是光催化工藝處理VOCs的技術(shù)核心！目前市場(chǎng)上沒(méi)有一種催化劑是萬(wàn)能的，我司基于基于華東理工大學(xué)的專利技術(shù)，采用獨(dú)特的氣相燃燒工藝，實(shí)現(xiàn)了貴金屬亞納米團(tuán)簇耦合光催化劑的精準(zhǔn)構(gòu)筑和可控制備；該催化劑具有優(yōu)異的光催化性能和穩(wěn)定性；同時(shí)實(shí)現(xiàn)了超高的貴金屬原子的利用效率，催化性能比同類產(chǎn)品大幅提高，很好的解決了行業(yè)技術(shù)困擾；

系統(tǒng)主要由管道輸送系統(tǒng)、前置洗滌、耦合催化系統(tǒng)、后置洗滌、排放系統(tǒng)和輔助整個(gè)除臭系統(tǒng)的控制系統(tǒng)組成，流程如下：